1.乳化液油雾，油雾分子大小在2-20 微米之间，是由于乳化液或水溶性的冷却液喷射到高速旋转的钻头上被打碎，形成细小的液滴，漂浮在工作环境中而形成的。这类油雾，可以用离心式也可以静电式技术进行处理。
2.精细油雾，油雾分子大小在0.5-2 微米之间，当纯油以超过55个标准大气压（800psi）的速度喷向磨头/钻头时，摩擦产生大量的热，使得纯油分子在接触面上就发生沸腾并迅速产生蒸汽。这些蒸汽随后以周围空气中的小液滴或其他粒子为核心凝结，形成0.5-2微米的精细油雾。这类油雾分子较小，仅依靠离心式技术难以处理，必须要使用静电式净化工艺。
3. 烟雾，油雾分子大小在0.07-1 微米之间。查看车加工中是否有烟雾，可在机器加工腔内看到，也可查看加工工件的颜色来判断。如果工件的边缘有浅蓝色出现，则说明温度已经高到可以产生烟雾。其产生原因是，在加工过程中，加热或高速切削时产生的高温，导致液体蒸发，液体蒸发形成了烟雾。处理这类气体，必须要在静电式油雾净化器后端加装过滤器才可清除。
