凸块(Bump)高度测量
凸块(Bump)共面性测量
凸块(Bump)直径测量
多束共聚焦光学系统
如果反射光线的物体表面位于与点光源共轭的位置,那么高速测量是不可能的。只有与单个针孔共轭的单一光束测量才能实现。芯片封装凸点检测的测量传感器在针孔阵列中拥有超过3百万个针孔点,能够通过多光束系统实现高速测量。
我们有两个多波束共焦系统选项。-一种是非扫描型(NCS),适用于高速和更广泛的测量范围;另一种是扫描型(SCS),通过应用针孔阵列的线性扫描系统,具有更高的检测分辨率。
光学共聚焦高度测量新机制
在共焦法中,需要通过线性扫描来获取并计算光电探测器的输出。然而,通过Z级移动进行Z扫描的速度并不令人满意。我们独特的光学技术,无需Z级扫描即可实现这一目标。通过光路上装配不同厚度的玻璃盘,焦点位置会根据玻璃厚度发生变化,这种效果等价于Z轴移动,通过旋转玻璃盘实现高速的Z轴扫描,因此可以高速度获取不同焦点的图像。
芯片封装凸点检测在半导体制造和封装过程中具有至关重要的作用,它直接关系到芯片的电气性能、可靠性以及z终产品的质量。以下是芯片封装凸点检测的主要作用:
1. 确保电气连接可靠性
凸点作用:芯片封装凸点(如焊球、铜柱或金凸点)是芯片与外部电路(如印刷电路板,PCB)之间的电气连接点。它们负责将芯片内部的信号传输到外部设备,同时接收外部信号输入芯片。
检测意义:通过检测凸点的形状、尺寸、位置和共面性等参数,可以确保每个凸点都能与PCB上的对应焊盘形成可靠的电气连接。如果凸点存在缺陷(如缺失、偏移、形状异常等),可能导致电气连接不良,进而影响芯片的性能或导致设备故障。
2. 提高封装良率
生产过程控制:在芯片封装过程中,凸点的形成是一个关键步骤。通过实时检测凸点的质量,可以及时发现生产过程中的问题(如植球工艺不稳定、材料问题等),从而调整生产参数或更换材料,避免批量性缺陷的产生。
减少返工和报废:凸点检测有助于在早期阶段识别出不合格产品,减少后续测试和返工的成本。同时,通过提高封装良率,可以降低生产成本,提高生产效率。
http://www.oelectron.cn/Products-39743376.html
https://www.chem17.com/st348659/product_39743376.html


