临界点干燥仪一键全自动，开启干燥+清洗一体流程
内置智能程序，覆盖从流体注入、压力平衡到排气的全过程一键启动即可静待结果所有数据均可无缝对接到您的生产执行系统(MES)，实现从晶圆到数据的可追溯性。
三重连锁防护，安全不妥协
临界点干燥仪配备机械安全阀、电子报警、程序互锁三重独立安全系统确保操作人员与实验室环境的安全。
临界点干燥仪工作原理:
核心原理：在临界温度和压力条件下（如CO?的临界点为31℃、74 bar），液态与气态之间的界面消失，表面张力降为零。此时用超临界CO?置换样品中的水分或其他溶剂，可避免传统干燥方法因表面张力导致的样品收缩或变形。
中间介质过渡：由于CO?不易与水混合，通常需通过丙酮等中间液体逐步脱去水分。例如，湿样品经历“水→丙酮→CO?”的梯度置换过程，z终达到超临界状态完成干燥。
临界点干燥仪设备结构与功能模块:
主要组件包括高压反应室（容纳样品及流体）、二氧化碳存储单元、温控模块（精确调节温度至临界点附近）、自动化控制系统及安全装置（如减压阀、压力监视器）。部分机型还配备搅拌系统以增强溶解交换效率。
特殊设计：如徕卡EM CPD300采用垂直腔室结构，支持顶部装载和侧面观察端口，便于操作与监控；内置一体化废液分离装置，减少操作者接触风险。
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